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高纯六氟化硫

[ 时间:2018-07-25 17:24:46 ]

高纯六氟化硫

  高纯六氟化硫就是产品纯度已达99.999%(5N)。黎明院是国内首 家研究开发六氟化硫生产工艺的单位,取得数十项技术研究及革新成果,在制氟及六氟化硫生产行业的综合技术实力达到了国内领 先水平,产品质量达到国际先进水平,部分技术已处于领 先水平。产品质量完全达到了LCD、TFT等生产工艺的需要。逐年随着客户的增多,目前已形成年产500吨的生产能力,并销往美国、韩国、台湾等国家和地区,在同行业处于领 先地位。
  产品特性
  分子量 146.06,常态下是一种无色、无臭、无毒、不燃、无腐蚀性的气态物质,化学稳定性强,近年来高纯六氟化硫(99.999%)在电子行业的应用发展迅速,是优良的蚀刻气体。
  应用领域
  高纯六氟化硫在微电子行业中的应用,主要可作为优良的蚀刻气体,在光导纤维制造中,可作为单膜光纤隔离层掺添剂,还可作为重要的激光材料用在激光技术中。
  去年,黎明院高纯六氟化硫产品已经通过了中国台湾某著 名企业的严格检测清洗和蚀刻试验,反馈的检测报告表明该院产品完全符合“5N”指标,产品质量达到国际先进水平,其中某些指标还领 先于美、日、韩等国企业的高纯六氟化硫产品,这种认可在国内特气生产企业中尚属首 家。
  逐年随着客户的增多,目前已形成年产500吨的生产能力,并销往美国、韩国、台湾等国家和地区,在同行业处于领 先地位。

       高纯度六氟化硫质量标准:


 检验项目

 纯度 %

氮气ppmv

氧气ppmv

 四氟化碳ppmv

 一氧化碳ppmv

二氧化碳ppmv 

酸度ppmv

水分ppmv 

 指标值

 99.999

 3

 3

 0.5

 0.5

 0.5

 0.1

 2




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