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电子级三氟化氮

[ 时间:2018-07-25 17:33:14 ]

电子级三氟化氮

  NF3气体在高能化学激光、电子工业(IC)以及太阳能光电产业等方面具有非常广泛的应用。目前,黎明院拥有一条年产500吨的NF3生产线,其生产工艺、设备均处于国内领 先地位。
  主要用途:
  NF3的三个主要用途,一是用作高能化学激光气的氟源,二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂,三是应用于太阳能光电产业。
  NF3其它用途:生产全氟铵盐,用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度,在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。
  物化性质:
  NF3在室温和大气压力下是无色、稳定和有毒的气体。相对分子质量为71.002,沸点为-129.06℃。
  NF3在室温下较稳定,但在800~1200℃下发生猛烈分解;NF3是一种有潜力的氧化剂,特别是在约200℃时,其反应性与氧相当;NF3在与其它元素反应时主要用作氟化剂;NF3在常温下不与水、稀酸和稀碱溶液反应,但在100℃下与碱性溶液接触时会缓慢水解生成亚硝酸盐及氟化物,在电火花作用下,NF3可与水猛烈反应;NF3与H2或氢化物可快速反应并放出大量的热,该反应是NF3用于高能化学激光器的基础;NF3可与有机物作用,但通常需升高温度以引发反应,因而常常发生爆炸;在低于70℃时NF3气体对普通金属不腐蚀,因此可用钢、不锈钢、镍、铜和铝等材料制作相关设备。
  安全数据:
  NF3是一种有毒、不可燃的压缩气体;
  无气味,但其中所含的杂质使它闻起来有发霉的气味;
  暴露极限: OSHA: PEL=10ppm. ACGIH: TWA/TLV=10ppm. NIOSH: 1000ppm.当进入浓度超过暴露极限的泄方区时需配备自给式呼吸器(SCBA);
  氧化剂,会引起或促进金属和非金属物质的燃烧,特别是温度超过200℃时;燃烧产物有毒;
  使用NF3的任何系统都不应有油、油脂和其它有机物;
  存储于钢瓶中,压力小于1500psig,盛装NF3的气瓶不允许在高于52℃的环境下使用、贮存和运输。
  包装规格:
  包装:高压无缝碳钢钢瓶
  包装规格:47L国标或DOT瓶、470L Y瓶等。

  三氟化氮质量指标:

 三氟化氮(NF3),102

 

 99.98

 99.99

 99.996

 四氟化碳(CF4),10-6

 

 100

 50

 20

 (N2),10-6

 

 10

 10

 5

 氧加氩(O2+Ar),10-6

 

 10

 5

 3

 一氧化碳(CO),10-6

 

 10

 5

 1

 二氧化碳(CO2),10-6

 

 10

 5

 0.5

 氧化亚氮(N2O),10-6

 

 10

 5

 1

 六氟化硫(SF6),10-6

 

 10

 5

 2

 可水解氟化物(HF)或总酸度,10-6

 

 1

 1

 1

 (H2O)10-6

 

 1

 1

 1


      黎明院生产现状:

  黎明院现有一套年产500吨的三氟化氮生产线,以生产4N以上规格的产品为主,并可提供GB/T 21287-2007指标中其它规格产品。
  2008年,黎明院NF3产品通过了中国台湾某著 名企业严格的清洗蚀刻试验,完全能够满足其生产需要,已进行了批量采购,目前反馈的使用报告表明黎明院NF3产品质量良好,并确定黎明化工研究院为NF3气体合格供应商。
  2009年黎明院NF3生产工艺、质量控制、分析方法及产品质量通过了日本某著 名气体厂商的仔细考察与严格检验,气体检测结果表明,黎明院的NF3产品质量已达到国际先进水平,随即与黎明院签署长期合作协议,开始批量采购。
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